Karierę piłkarską rozpoczął w wieku 7 lat w klubie DJK Westfalia 04 Gelsenkirchen. 3 lata później przeniósł się do DJK Teutonia Schalke-Nord, by po roku zostać zawodnikiem DJK Falke Gelsenkirchen. W wieku 12 lat Özil trafił do Rot-Weiss Essen, gdzie występował przez kolejne pięć sezonów.
Schalke 04
W 2005 podpisał kontrakt z FC Schalke 04. Pierwszy rok spędził w zespole rezerw, zaś latem 2006 roku został włączony do kadry pierwszej drużyny. W barwach Schalke zadebiutował 29 lipca 2006 roku w wygranym po rzutach karnych meczu Pucharu Niemiec z Bayerem 04 Leverkusen[2]. W Bundeslidze zadebiutował 12 sierpnia 2006 roku w zremisowanym 1:1 spotkaniu z Eintrachtem Frankfurt. Ostatecznie w sezonie 2006/2007 Özil dziewiętnaście razy wystąpił w lidze, a także wywalczył z klubem wicemistrzostwo Niemiec. W następnych rozgrywkach grał wraz z Schalke w fazie grupowej Ligi Mistrzów.
Werder Brema
31 stycznia 2008 przeszedł do Werderu Brema, który zapłacił za niego 4,3 mln euro. W nowym klubie zadebiutował 10 lutego 2008 w zremisowanym 1:1 meczu z Bayernem Monachium. Po krótkim czasie Özil wywalczył sobie miejsce w podstawowym składzie, tworząc wraz z Diego duet środkowych pomocników. 26 kwietnia 2008 w zremisowanym 3:3 meczu z Karlsruher Özil strzelił pierwszego gola w Bundeslidze. W sezonie 2007/08 wywalczył z Werderem wicemistrzostwo Niemiec. W 2009 zdobył z klubem swoje pierwsze klubowe trofeum, Puchar Niemiec. Z Werderem wziął także udział w Pucharze UEFA, z którego jednak klub odpadł po porażce 1:2 z Szachtarem Donieck.
Real Madryt
17 sierpnia 2010 Real Madryt potwierdził podpisanie kontraktu z Özilem[3]. Kwota transferu wyniosła około 15 milionów euro, a sam zawodnik podpisał kontrakt do 2016 roku[4]. W barwach Realu zadebiutował 29 sierpnia 2010 roku w wyjazdowym spotkaniu z Mallorcą, zmieniając w 62. minucie Sergio Canalesa[5]. 3 października 2010 roku podczas domowego spotkania z Deportivo La Coruña Özil zdobył swoją debiutancką bramkę, zaś Real wygrał 6:1[6]. Pierwszy sezon zakończył z dorobkiem 6 goli i 17 asyst w lidze. Wraz z drużyną zdobył wicemistrzostwo Hiszpanii, Puchar Hiszpanii, a także dotarł do półfinału Ligi Mistrzów. Otrzymał także nagrodę dla Najlepiej Asystującego Zawodnika Ligi Mistrzów oraz został wybrany do jedenastki sezonu tych rozgrywek. Następne rozgrywki rozpoczął zdobywając bramkę na 1:0 w zremisowanym 2:2 pierwszym meczu o Superpuchar Hiszpanii z Barceloną[7]. W przegranym 2:3 meczu rewanżowym Özil został w 78. minucie zmieniony przez Kakę, jednak w doliczonym czasie gry został ukarany czerwoną kartką. W lidze Özil w znacznym stopniu przyczynił się do zdobycia przez Real mistrzostwa Hiszpanii, a także otrzymał nagrodę dla Najlepszego Asystenta Ligi.
Arsenal
2 września 2013 podpisał długoterminowy kontrakt z angielskim Arsenalem[8]. 14 września zadebiutował w nowym klubie podczas wygranego 3:1 spotkania z Sunderlandem, w którym zanotował asystę przy golu Oliviera Giroud[9]. 1 października w spotkaniu fazy grupowej Ligi Mistrzów z SSC Napoli zdobył swoją pierwszą bramkę w barwach Arsenalu, a także zanotował asystę przy bramce Giroud. W swoim pierwszym sezonie w ekipie Kanonierów, zdobył Puchar Anglii, kiedy to Arsenal po dogrywce pokonał Hull City 3:2.
W 2010 otrzymał powołanie na Mistrzostwa Świata w Południowej Afryce. Podczas turnieju został razem z Kaką najlepiej asystującym zawodnikiem. W ostatnim spotkaniu fazy grupowej z Ghaną zdobył bramkę dającą Niemcom zwycięstwo[11]. Reprezentacja Niemiec zdobyła ostatecznie brązowy medal, pokonując w meczu o 3. miejsce Urugwaj 3:2. Po turnieju Özil otrzymał nominację do wielu nagród, m.in. do Złotej Piłki, FIFPro, Złotej Piłki Adidasa oraz Najlepszego Młodego Zawodnika Roku.
W 2012 Özil został powołany do kadry na Mistrzostwa Europy 2012. Ostatecznie Niemcy dotarli do półfinału, gdzie przegrali 1:2 z Włochami. Özil został najlepszym asystującym mistrzostw, a także wybrano go do najlepszej jedenastki całego turnieju.