0.557 g/cm3(25°C氣體,飽和蒸氣壓)
氟甲烷,也稱為甲基氟、氟利昂41、HFC-41,其化學式為CH3F,在常溫常壓下是無毒、可液化的可燃氣體,是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中,在射频场下氟甲烷會溶解氟離子,可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜,即反应离子刻蚀。
在氟甲烷中,C-F鍵的鍵能為552 kJ/mol,其鍵長為0.139 nm(典型的C-F鍵鍵長為0.14 nm)。分子構型為四面體。
氟甲烷25度時的比熱Cp為38.171 J.mol−1.K−1。臨界點為44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。
氟甲烷是溫室氣體,其全球暖化潛勢(GWP)為150[1]。
CH3F · CH3Cl · CH3Br · CH3I
CH2F2 · CH2ClF · CH2BrF · CH2FI · CH2Cl2 · CH2BrCl · CH2ClI · CH2Br2 · CH2BrI · CH2I2
CHF3 · CHClF2 · CHBrF2 · CHF2I · CHCl2F · CHBrClF* · CHClFI* · CHBr2F · CHBrFI* · CHFI2 · CHCl3 · CHBrCl2 · CHCl2I · CHBr2Cl · CHBrClI* · CHClI2 · CHBr3 · CHBr2I · CHBrI2 · CHI3
CF4 · CClF3 · CBrF3 · CF3I · CCl2F2 · CF2BrCl · CClF2I · CBr2F2 · CBrF2I · CF2I2 · CCl3F · CBrCl2F · CCl2FI · CBr2ClF · CBrClFI*χ · CClFI2χ · CBr3F · CBr2FI · CBrFI2 · CFI3 · CCl4 · CBrCl3 · CCl3I · CBr2Cl2 · CBrCl2Iχ · CCl2I2 · CBr3Cl · CBr2ClIχ · CBrClI2χ · CClI3χ · CBr4 · CBr3I · CBr2I2χ · CBrI3 · CI4