Budowę budynku wydziału rozpoczęto w 1871 r., po wydaniu stosownej decyzji senatu uczelni w 1869 r. Otwarcie nastąpiło w 1874 r. Powstanie laboratorium nadzorował fizyk James Clerk Maxwell, który został także jego pierwszym kierownikiem. W roku 1974 Laboratorium przeprowadzono do nowych budynków w zachodniej części Cambridge.
Lista kolejnych kierowników Laboratorium Cavendisha: