Süss Microtec

Süss Microtec SE
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Rechtsform	Aktiengesellschaft
ISIN	DE000A1K0235
Gründung	1949
Sitz	Garching bei München,; Deutschland
Leitung	Burkhardt Frick (CEO); Cornelia Ballwießer (CFO); Thomas Rohe (COO);
Mitarbeiterzahl	1.207
Umsatz	304,3 Mio. Euro (GJ 2023)
Branche	Halbleiterindustrie
Website	www.suss.com
	Stand: 28. März 2024

Süss MicroTec ist ein Anbieter von Anlagen und Prozesslösungen für den Halbleitermarkt, die Nano- und Mikrosystemtechnik und verwandte Märkte mit Hauptsitz in Garching bei München.

Die Maschinen, Anlagen und Systeme für die Mikrostrukturierung, wie zum Beispiel fotolithografische Geräte, finden ihren Einsatz bei der Herstellung von Prozessoren, Speicher-Chips, MEMS, LEDs und anderen Mikrosystemtechnik-Bauteilen. Das Portfolio umfasst Produkte für die Bereiche Backend-Lithographie, Wafer-Bonding und Fotomasken-Reinigung. Das Unternehmen ist Lieferant für die industrielle Großserienproduktion und für Einrichtungen aus dem Bereich Forschung und Entwicklung.

Unternehmensentwicklung

Im Jahre 1949 gründete Karl Süss die Karl Süss KG und übernahm als Handelsvertreter für Bayern den Vertrieb für optische Geräte (Mikroskope, Kameras und Laborausrüstungen) der Ernst Leitz GmbH. Mit zunehmender technischer Expertise wandelte sich das Unternehmen von einer reinen Vertriebsgesellschaft mit fünf Beschäftigten zum Auftragsfertiger^[5].

Der Auftrag von Siemens im Jahre 1963 zur Entwicklung eines einfachen Fotolithografiegerätes bildete den Grundstein für die spätere Ausrichtung des Unternehmens und den ersten Schritt in die Halbleiterbranche. Der erste Auftrag von Siemens umfasste kleine Messtische mit Stereomikroskopen, die miteinander gebondet sind. 1963 entwickelte Süss den Prototyp des ersten Mask-Aligners MJB3 für Siemens.

1968 zog das Unternehmen mit seiner Produktion und inzwischen 30 Mitarbeitern nach Garching.^[5]

Mit Entwicklung der Halbleiterindustrie begann Süss Microtec Diamantritzer und Spin-Coater herzustellen. Der erste Mask-Aligner, der eine doppelseitige Belichtung ermöglichte, wurde 1974 erfunden. Süss MicroTec, dessen Name im Forschungs- und Entwicklungsbereich bereits für Fotolithographie stand, richtete sich nun schwerpunktmäßig auch an Kunden aus der Fertigungsindustrie. 1975 wurde mit dem MJB55 der erste Mask-Aligners für die Massenproduktion entwickelt.^[5]

In den 1980er Jahren begannen die Aktivitäten in Übersee mit einem Werk in Waterbury, Vermont, USA. 1983 wurde eine asiatische Tochtergesellschaft in Thailand gegründet, der weitere Vertriebsbüros in Japan, China und Taiwan folgten. Süss Microtec bereitete sich auf die Herstellung von Bondern vor. Daneben unternahm das Unternehmen einen Vorstoß auf das sehr spezialisierte Feld der Röntgen-Stepper-Lithographie. In Dresden wurde ein Werk für die Herstellung von Probern eröffnet.

Neben den Justiergeräten wurden auch Systeme für verwandte Prozesse wie Entwicklung, Reinigung und Bonding entwickelt. Mit dem Wafer Bonder ging das Unternehmen im Jahre 1980 in den USA in Waterbury/Vermont serienmäßig in Produktion.^[5]

Süss Microtec entwickelte 1989 den ersten Substrat-Bonder. In der Mikrosystemtechnologie ließen sich mit Substrat-Bondern heterogene Werkstoffe mit strukturierten Oberflächen verbinden. 1993 nahm das Unternehmen Device-Bonder in das Sortiment auf.

1994 starben der Unternehmensgründer Karl Süss und sein ältester Sohn Ekkehard Süss kurz nacheinander. Dies führte zu einer Reorganisation des Unternehmens. Winfried Süss, Sohn von Karl Süss, vertrat die Familie im Aufsichtsrat. 1999 ging die Holding der Süss-Gruppe als SÜSS MicroTec AG an die Börse.^[5]

Entwicklung ab dem Jahr 2000

Durch die Akquisition von Fairchild Technologies betrat das Unternehmen 2000 mit Beschichtungsanlagen die oberen Marktsegmente. Ab 2002 verstärkte das Geschäftsfeld Mikrooptiken der neu gegründeten SUSS MicroOptics das lithografische Portfolio von Süss Microtec.^[6] 2002 wurden die Tochtergesellschaften in SUSS MicroTec umfirmiert.

2006 wurde die erfolgreiche Gebrauchtanlagensparte in das Unternehmen SUSS MicroTec Reman ausgegliedert. 2007 wurde die Produktlinie Device Bonder^[7], zwei Jahre später die Prober-Linie verkauft^[8]. Es folgte die Eröffnung von Geschäftsstellen in Singapur und Korea.^[5]

Die 2010er Jahre waren durch Schwankungen des Marktes für Halbleiter-Anlagentechnik gekennzeichnet. In der Folge änderte das Unternehmen seine Geschäftspolitik und leitete eine Konzentration auf Kernkompetenzen und gezielte Zukäufe ein. 2010 erwarb Süss Microtec mit Hamatech APE einen Anlagenhersteller für die Fotomasken-Prozessierungstechnologie. Im gleichen Jahr wurde die Produktion von Substrat-Bondern aus Waterbury (USA) in das neu erworbene Werk in Sternenfels verlagert. Seither werden Beschichtungsanlagen, Bonder und Fotomasken-Prozessierungsanlagen im selben Werk hergestellt, das sich damit zum Kompetenzzentrum für die Nassverarbeitungstechnologie entwickelt hat. Mit der Akquisition von Tamarack Scientific 2012 ergänzte das Unternehmen sein lithographisches Portfolio um moderne Laserprozessierungstechnologie für die Übertragung von Mikrostrukturen.^[5]

Aufgrund der zunehmenden Digitalisierung in allen Lebensbereichen baute Süss Microtec seine Produktionskapazitäten im Jahre 2020 mit einer neuen Produktionsstätte in Taiwan aus^[9]. Darüber hinaus kam im selben Jahr eine weitere Technologie hinzu, als das Unternehmen den Tintenstrahldruck-Geschäftsbereich des Solarspezialisten Meyer Burger, PiXDRO, erwarb^[10].

Vertriebs-Niederlassungen von Süss Microtec bestehen unter anderem in Thailand, Japan, Taiwan, China und Korea.

Tochtergesellschaften

Seit der Gründung des Unternehmens GMA im Jahr 1989, hervorgegangen aus der ehemaligen Elektromat, in Sacka bei Dresden, produziert Süss Microtec selbst Systeme für das Testen von Mikro-Bauteilen. Im Jahre 1993 erweiterte Süss Microtec mit der Übernahme der französischen S.E.T. seine Produktpalette um Spin Coater und Device Bonder. Die nächste Akquisition erfolgte im Jahre 1999 mit Convac (veräußert durch das Unternehmen Fairchild Semiconductor). Durch den Aufkauf von Image Technology, USA, ergänzen seit 2001 für lithographische Prozesse eingesetzte Fotomasken das Portfolio der Gruppe. Seit der Gründung der Suss Microoptics in Neuchâtel, Schweiz im Jahre 2002 bot das Unternehmen auch optische Mikrolinsen an. Suss MicroOptics wurde im Jahr 2024 an Focuslight Technologies Inc. verkauft^[11].

Im Jahre 2007 verkaufte Süss Microtec die Produktsparte Device-Bonder. Mit der Übernahme der Hamatech APE zu Beginn des Jahres 2010^[12] und dem Verkauf der Sparte Testsysteme baute die Süss-Gruppe zum einen ihre Kernkompetenz im Bereich Nassprozesse weiter aus und setzte zum anderen einen klaren Fokus auf die Mikrostrukturierung von Bauteilen.

Um das Portfolio zu konsolidieren, kam es 2011 zum Verkauf der SUSS MicroTec Precision Photomask Inc.

Im Jahre 2012 kaufte Süss Microtec das Unternehmen Tamarack Scientific Co. Inc.^[13] Tamarack entwickelt, produziert und vertreibt UV-Projektionsbelichtungsgeräte sowie laserbasierte Mikrostrukturierungssysteme.

Forschung und Entwicklung

Bereits der Unternehmensgründer pflegte einen engen Austausch mit der Wissenschaft. Süss Microtec baut laufend die Anstrengungen im Bereich Forschung und Entwicklung aus um die Innovationsgeschwindigkeit zu steigern. Neben regen Entwicklungsaktivitäten und einer intensiven Zusammenarbeit mit führenden Forschungseinrichtungen und Universitäten werden alle Prozesse auf höchstmögliche Entwicklungsgeschwindigkeit und Effizienz ausgerichtet, damit sich die Wertschöpfung der Anwender verbessert.

Süss Microtec arbeitet mit verschiedenen Forschungsorganisationen weltweit zusammen.^[14]

Anwendungen

Wichtige Endanwendungen für Sensoren und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) sind Konsumelektronik (Unterhaltungselektronik, Hausgeräte, Mobiltelefone, Fotoapparate etc.), Maschinen- und Anlagenbau, Steuerungs-, Mess- und Regeltechnik, Prozessoren, Labortechnik, Medizintechnik, Automotive, Luft- und Raumfahrt sowie Sicherheitsanwendungen.