Cấp bậc Thiếu tướng Việt Nam Cộng hòa đặt ra ngay sau khi Quân đội Việt Nam Cộng hòa được thành lập trên cơ sở chuyển đổi từ Quân đội Quốc gia Việt Nam. Ban đầu, đây là cấp đầu tiên của cấp bậc tướng lĩnh Việt Nam Cộng hòa. Từ thượng tuần tháng 3 năm 1964, sau khi cấp bậc Chuẩn tướng được đặt ra, cấp bậc này được phân loại xếp trên cấp Chuẩn tướng.
Trong lịch sử 25 năm tồn tại của Quân đội Quốc gia và sau này là Quân lực Việt Nam Cộng hòa (1950-1975) đã có 46 vị có cấp bậc cuối cùng là Thiếu tướng và Đề đốc. Người nổi tiếng nhất là Thiếu tướng Nguyễn Cao Kỳ, sau này làm Phó Tổng thống Việt Nam Cộng hòa.
-Ngày 22 tháng 4 năm 1952 được Quốc trưởng Bảo Đại ký sắc lệnh phong cấp Thiếu tướng
- Nguyên là sĩ quan cao cấp của Quân đội Hòa Hảo. Được Quốc trưởng Bảo Đại phong cấp Thiếu tướng trong Quân đội Quốc gia
- Được Quốc trưởng Bảo Đại phong cấp Thiếu tướng trong Quân đội Quốc gia
- Năm 1955 ra hợp tác với Chính phủ Quốc gia, được Thủ tướng Diệm phong cấp Thiếu tướng Tổng Tư lệnh Lực lương Cao Đài Liên minh thay thế cố Trung tướng Trình Minh Thế
- Năm 1956 ra hợp tác với Việt Nam Cộng hòa được phong cấp Thiếu tướng, nhưng sau đó bị xử tử hình với tội danh mưu phản
- Ngày 8/4/1964 thăng cấp Chuẩn tướng sau khi rời chức Tư lệnh Sư đoàn 7 Bộ binh
- Ngày 8/4/1964 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Tư lệnh Không quân
- Ngày 8/4/1964 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Tư lệnh Sư đoàn 5 Bộ binh
- Ngày 11/8/1964 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Chánh Văn phòng Thủ tướng Nguyễn Khánh
- Ngày 11/8/1964 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Trưởng phòng 4 Bộ Tổng tham mưu
- Ngày 11/8/1964 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Chỉ huy trưởng Trường Sĩ quan Thủ Đức
- Ngày 19/6/1968 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Sư đoàn 23 Bộ binh
- Ngày 11/8/1964 thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Chỉ huy trưởng Trường Võ bị Quốc gia Đà Lạt
-Ngày 19/6/1968, thăng cấp (Phó Đề đốc) Chuẩn tướng đương nhiệm Tư lệnh Hải quân
-Ngày 16/4/1967, thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Tư lệnh Biệt khu 44 (Khu vực Đồng Tháp Mười)
-Ngày 1/11/1971, thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Tư lệnh Sư đoàn 4 Không quân
-Ngày 19/6/1970, thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Sư đoàn 7 bộ binh
-Ngày 1/11/1964, thăng cấp Chuẩn tướng sau khi rời chức Tư lệnh Sư đoàn 5 bộ binh, trước khi nhậm chức Tư lệnh Sư đoàn 25 bộ binh
-Ngày 1/7/1970, thăng cấp Chuẩn tướng đương nhiệm Chỉ huy trưởng Pháo binh