Гидроксид тетраметиламмония

Гидроксид тетраметиламмония
Изображение химической структуры
Общие
Систематическое
наименование		 Тетраметиловый гидроксид аммония
Сокращения TMAH, TMAOH
Хим. формула (CH3)4NOH
Классификация
Рег. номер CAS 75-59-2
PubChem 60966
Рег. номер EINECS 200-882-9
SMILES
 
InChI
 
ChemSpider 54928
Безопасность
NFPA 704
NFPA 704 four-colored diamondОгнеопасность 0: Негорючее веществоОпасность для здоровья 3: Кратковременное воздействие может привести к серьёзным временным или умеренным остаточным последствиям (например, хлор, серная кислота)Реакционноспособность 0: Стабильно даже при действии открытого пламени и не реагирует с водой (например, гелий)Специальный код: отсутствует
0
3
0
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.
Логотип Викисклада Медиафайлы на Викискладе

Гидрокси́д тетраметиламмо́ния (TMAH, TMAOH — от англ. tetramethylammonium hydroxide) это четвертичное аммонийное соединение с молекулярной формулой (CH3)4NOH, сильное органическое основание. Он используется как анизотропный травитель для кремния. Также, слабые растворы, используются для проявления фоторезиста в процессе фотолитографии. Поскольку он является катализатором фазового перехода, он очень эффективен для удаления фоторезиста. Также используется как поверхностно-активное вещество при синтезе ферромагнитных жидкостей, чтобы препятствовать слипанию её частиц.

Токсичность

Раствор TMAH является сильным основанием. Чистый TMAH практически не имеет запаха, загрязнённый триметиламином (который применяется в производстве четвертичных аммониевых солей) имеет запах мертвой рыбы.

Анизотропный травитель

TMAH относится к семейству растворов четвертичных гидроксидов аммония и широко используется для анизотропного травления кремния. Типичная температура травления 70°-90 °C, типичная концентрация 5 %-25 % TMAH по массе в водном растворе. Скорость травления кремния увеличивается с ростом температуры и падает с ростом концентрации TMAH. Грубость травления кремниевой поверхности увеличивается с ростом концентрации TMAH, при концентрации 20 % получается гладкая поверхность травления.

Распространённые материалы для масок при длительном травлении в TMAH включают в себя диоксид кремния (химически осаждённый из газовой фазы при пониженном давлении ) и нитрид кремния. Нитрид кремния имеет незначительную скорость травления в TMAH; скорость травления в TMAH для диоксида кремния зависит от качества плёнки, но в целом имеет порядок 0.1 нм/минуту.



Read other articles:

Eletrobras

Electrobras NYSE: EBR Beurs Bovespa Motto of slagzin Energia para novos tempos Oprichting 11 juni 1962 Sleutelfiguren Wilson Pinto Ferreira Junior, president Hoofdkantoor Rio de Janeiro  Brazilië Werknemers 23.190 (december 2016) Producten elektriciteit Industrie nutsbedrijf Omzet/jaar BRL 27,7 miljard (2019)(ca US$ 7,0 miljard) Winst/jaar BRL 10,7 miljard (2019)(ca US$ 2,7 miljard) Website (en) Bedrijfswebsite Eletrobras Portaal    Economie Itaipu waterkrachtcentrale Angra ke...

 

Stasiun Gondanglegi

Artikel ini bukan mengenai Stasiun Gondangdia. Stasiun Gondanglegi Gondanglegi Bangunan stasiun nonaktif Gondanglegi yang kini dihuni oleh warga sekitarLokasiGondanglegi Wetan, Gondanglegi, Malang, Jawa TimurIndonesiaOperatorKereta Api IndonesiaDaerah Operasi VIII SurabayaLetak dari pangkal km 22+450 lintas Malang Jagalan–Malang Kotalama–Gondanglegi–Dampit km 0+000 lintas Gondanglegi–Kepanjen[1] Informasi lainKode stasiunGDL5307[2]SejarahDibuka1898Ditutup1978Operasi la...

 

Мюрішен

Село Мюрішеназерб. Miruşen Координати 39°50′33″ пн. ш. 46°55′10″ сх. д.H G O Країна  Азербайджан АзербайджанРайон ХоджавендськийВисота центру 810 мНаселення 200 осіб (2005)Національний склад вірмениКонфесійний склад Вірменська апостольська церкваЧасовий поя...

Akita Airport

AirportAkita Airport秋田空港Akita KūkōDomestic terminalIATA: AXTICAO: RJSKWMO: 47545SummaryAirport typePublicOperatorAkita PrefectureServesAkita, Akita, JapanElevation AMSL305 ft / 93 mCoordinates39°36′56″N 140°13′07″E / 39.61556°N 140.21861°E / 39.61556; 140.21861MapRJSKLocation in JapanShow map of Akita PrefectureRJSKRJSK (Japan)Show map of JapanRunways Direction Length Surface m ft 10/28 2,500 8,202 Asphalt/concrete Statistics (2015)...

 

Judíos de Zamora

Candelabro de nueve brazos (o Januquilla) en el sillar de la Iglesia de San Pedro y San Ildefonso, identificado por el historiador Álvaro López Asensio en el año 2008. Las primeras referencias a judíos en Zamora, España, proceden del año 1062 cuando el rey Fernando I repobló la ciudad y restauró derechos e inmunidades a la comunidad hebrea asentada en el lugar.[1]​ La primera sinagoga de que se tiene noticias es del año 1094.[2]​ En 1259, la iglesia reconoció a los judí...

 

Zoquillos (EP)

«Zoquillos»Sencillo de Zoquillosdel EP 'Publicación 1983Grabación 10 y 11 de noviembre de 1982Género(s) Punk-rockDiscográfica Spansuls (Original)Munster (Reedición 2007)Productor(es) Zoquillos y César Scappa.Calificaciones profesionales Lafonoteca enlace[editar datos en Wikidata] «Zoquillos» es la única referencia que editó el grupo de punk-rock madrileño Zoquillos a principios de 1983. EL sencillo se grabó los días 10 y 11 de noviembre de 1982 en los estudios Doublew...

Samsung Galaxy Tab 4 7.0

Android tablet by Samsung Samsung Galaxy Tab 4 7.0Samsung Galaxy Tab 4 7.0 in WhiteCodenamedegasAlso known asSM-T230 (WiFi) SM-T231 (3G & WiFi) SM-T235 (3G, 4G/LTE & WiFi)ManufacturerSamsung ElectronicsProduct familyGalaxy TabTypeTablet, media player, PCRelease date1 May 2014Operating systemAndroid 4.4.2 KitKat SM-T235: Upgradeable to Android 5.1.1 Lollipop except for select countriesSystem on a chipSM-T231: Marvell PXA1088CPU1.2/1.4 GHz quad-core Cortex-A7Memory1.5 GBStorage8 GB...

 

Parlamentswahl in Venezuela 2015

Das Wahlresultat 2015 – Sieg der Opposition Die Parlamentswahlen in Venezuela 2015 fanden am 6. Dezember 2015 statt. Sie wurden deutlich vom oppositionellen Parteienbündnis Mesa de la Unidad Democrática gewonnen, was als Erdrutschsieg gewertet wurde.[1][2][3] Inhaltsverzeichnis 1 Ausgangssituation 2 Wahlrecht 3 Wahlkampf 4 Umfragen 5 Ergebnis 6 Beobachter 6.1 EU 6.2 OAS 6.3 Plan República 6.4 UNASUR 7 Einzelnachweise Ausgangssituation Die Parlamentswahlen in Venez...

 

Lion's Den (2008 film)

2008 film This article needs additional citations for verification. Please help improve this article by adding citations to reliable sources. Unsourced material may be challenged and removed.Find sources: Lion's Den 2008 film – news · newspapers · books · scholar · JSTOR (April 2019) (Learn how and when to remove this template message) Lion's DenTheatrical release posterDirected byPablo TraperoScreenplay by Pablo Trapero Martín Mauregui Santiago ...

Laonikos Chalkokondyles

Byzantine Greek historian (1430–c.1470) This article includes a list of general references, but it lacks sufficient corresponding inline citations. Please help to improve this article by introducing more precise citations. (July 2016) (Learn how and when to remove this template message) Laonikos ChalkokondylesEarly modern painting of Laonikos ChalkokondylesBornc. 1430AthensDiedc. 1470NationalityGreekOccupationHistorianNotable workHistories in ten books Laonikos Chalkokondyles, Latinized as ...

 

Ministry of Tourism and Sports (Croatia)

Ministry of Tourism and SportsMinistarstvo turizma i sportaThe headquarters of the Ministry of TourismAgency overviewFormed31 May 1990JurisdictionGovernment of CroatiaHeadquartersPrisavlje 14, Zagreb45°47′28″N 15°58′09″E / 45.791182°N 15.969110°E / 45.791182; 15.969110Employees148 (2015)[1]Annual budgetHRK 205 million (2015)[2]Minister responsibleNikolina BrnjacWebsitemint.gov.hr The Ministry of Tourism and Sports of the Republic of Croatia ...

 

Telangana Pradesh Congress Committee

Indian political party Political party in India Telangana Pradesh Congress Committee PresidentAnumula Revanth ReddyChairpersonAnumula Revanth Reddy (CM of Telangana )Founded11 March 2014HeadquartersGandhi Bhavan, Nampally, Hyderabad, TelanganaYouth wingTelangana Youth CongressWomen's wingTelangana Pradesh Mahila Congress CommitteeMembership5 million (March 2022)IdeologySecularismPopulismSocial liberalismDemocratic socialismSocial democracyPolitical positionCentre-left[4]Allia...

Cesare Prandelli

Cesare Prandelli Informasi pribadiNama lengkap Cesare Claudio PrandelliTanggal lahir 19 Agustus 1957 (umur 66)Tempat lahir Orzinuovi, ItaliaKarier senior*Tahun Tim Tampil (Gol)1974–1978 Cremonese 88 (7)1978–1979 Atalanta 27 (3)1979–1985 Juventus 89 (0)1985–1990 Atalanta 119 (7)Kepelatihan1990–1993 Atalanta (pelatih remaja)1993–1994 Atalanta1994–1997 Atalanta (pelatih remaja)1997–1998 Lecce1998–2000 Verona2000–2001 Venezia2002–2004 Parma2004 Roma2005–2010 Fiorentin...

 

Lijst van rivieren in Californië

Kaart met daarop de belangrijkste rivieren en meren van Californië. Dit is een lijst van de rivieren in de Amerikaanse staat Californië, gegroepeerd per regio. Noordkust Waterlopen die uitkomen in de Grote of Stille Oceaan tussen de Baai van San Francisco en de grens met Oregon. De waterlopen zijn gesorteerd van noord naar zuid. De zijrivieren zijn gesorteerd op de volgende manier: zij die het dichtst bij de zee in de hoofdrivier uitmonden, staan steeds eerst. Ten noorden van de Humboldt Ba...

 

2019 Spanish local elections

For the regional elections held concurrently, see 2019 Spanish regional elections. 2019 Spanish local elections ← 2015 26 May 2019 2023 → All 66,979 councillors in 8,131 municipal councilsAll 1,038 seats in 38 provincial deputationsOpinion pollsRegistered35,275,287 0.5%Turnout22,996,370 (65.2%)0.3 pp   First party Second party Third party   Leader Pedro Sánchez Pablo Casado Albert Rivera Party PSOE PP Cs Leader since 18 June 2017 21 July 2018 9 July ...

Nadja Salerno-Sonnenberg

Italian violinist (born 1961) Nadja Salerno-SonnenbergBackground informationBorn (1961-01-10) January 10, 1961 (age 62)[1]Rome, ItalyGenresClassical musicOccupation(s)Musician, authorInstrument(s)ViolinYears active1986–presentLabelsEMI, Nonesuch, NSS MusicWebsitenadjasalernosonnenberg.comMusical artist Nadja Salerno-Sonnenberg (born January 10, 1961) is an Italian and American classical violinist and teacher. Early life and education Salerno-Sonnenberg was born in Rome, Italy. ...

 

Broadfield, West Sussex

This article includes a list of references, related reading, or external links, but its sources remain unclear because it lacks inline citations. Please help to improve this article by introducing more precise citations. (May 2010) (Learn how and when to remove this template message) Human settlement in EnglandBroadfieldBroadfield HouseBroadfieldLocation within West SussexOS grid referenceTQ255345DistrictCrawleyShire countyWest SussexRegionSouth EastCountryEnglandSovereign ...

 

Pembunuhan di Sungai Nil

Untuk kegunaan lain, lihat Pembunuhan di Sungai Nil (disambiguasi). Death on the NilE, Poirot sul Nilo, Muerte en el Nilo, Poirot en Egipto, Mort sur le NilPenulisAgatha Christie NegaraInggris BahasaInggris Seriescanon of Hercule Poirot (en) Genrefiksi detektif Set inAgatha Christie's fictional universe (en) Diterbitkan1 November 1937PenerbitCollins Crime Club (en) SebelumnyaSaksi Bisu SetelahnyaPerjanjian dengan Maut Selengkapnya di Wikidata Pembunuhan di Sungai Nil atau Death on the Nile ad...

Delhi

Delhi Delhi ndi boma lina la dziko la India. Chiwerengero cha anthu: 16.314.838. Nkhaniyi ndi stub. Mungathe kuthandiza Wikipedia ndi kukulitsa izo.

 

حلوم

حلوممعلومات عامةاسم آخر حلوميالمنشأ  مصرالنوع جبن الماعز المكونات الرئيسية حليب ماعز[1] ملح الطعام[1] منفحة[2] التقديم مع الخبز، السلطةتعديل - تعديل مصدري - تعديل ويكي بيانات جبنة حلّوم مشوية الحلّوم أو الحلومي (باليونانية: χαλλούμι، بالتركية: Hellim)‏ هي نوع من ...

 

Strategi Solo vs Squad di Free Fire: Cara Menang Mudah!