Share to: share facebook share twitter share wa share telegram print page

ترسيب كيميائي للبخار

يحسن تطبيق البلازما (اللون البنفسجي) أثناء عملية الترسيب الكيميائي للبخار من نمو الأنابيب النانوية الكربونية.

الترسيب الكيميائي للبخار (يرمز له CVD من Chemical vapor deposition) هي عملية كيميائية تستخدم لإنتاج مواد صلبة عالية الأداء وعالية النقاوة. وغالباً ما يكون لهذه العملية تطبيقات في مجال أشباه الموصلات ولإنتاج الطبقات الرقيقة ولتحضير الأنابيب النانوية الكربونية.

تجري في عملية الترسيب الكيميائي للبخار تعريض الرقاقة (الركازة) إلى مركب أو عدة مركبات طليعية متطايرة والتي تتفاعل و/أو تتفكك على سطح الركازة لتعطي المادة المرغوبة. يصاحب العملية نشوء منتجات ثانوية، والتي تزال من حجرة التفاعل بواسطة تدفق تيار غازي.

يعتمد مبدأ الترسيب الكيميائي للبخار على تشكل طبقة صلبة من الطور الغازي نتيجة تفاعل كيميائي على سطح الركازة الساخن . من الشروط الواجب توافرها أن تكون المواد المكونة للطبقة لمراد وضعها ذات تطايرية عالية.

أنواع الترسيب الكيميائي للبخار

تختلف أنواع الترسيب الكيميائي للبخار عن بعضها في كيفية تحريض (حث) التفاعل الكيميائي على الحدوث وفي شروط العملية.

ترسيب كيميائي حراري للبخار ذو الجدار الساخن)
ترسيب كيميائي مدعم بالبلازما للبخار
  • مصنفة حسب الضغط المطبق
    • ترسيب كيميائي للبخار عند الضغط الجوي.
    • ترسيب كيميائي للبخار عند ضغوط منخفضة.[1] مما يقلل من التفاعلات الجانبية الغازية غير المرغوبة، ويحسن من انتظام توزيع الطبقة على الرقاقة.
    • ترسيب كيميائي للبخار عند ضغوط فائقة الانخفاض (UHVCVD) والتي تطبق عند ضغوط أقل من 10−6 باسكال.
  • مصنفة حسب الخصائص الفيزيائية المميزة للبخار:
    • ترسيب كيميائي للبخار مدعم بالرذاذ: حيث تنقل الطلائع إلى الركازة بواسطة رذاذ (سائل/غاز)، والذي يمكن توليده بالأمواج فوق الصوتية. هذه التقنية ملائمة للطلائع غير المتطايرة.
    • ترسيب كيميائي للبخار بالحقن المباشر للسائل: حيث تكون الطلائع في حالة سائلة أو بحالة منحلة (على شكل محلول إذا كانت صلبة) وتحقن إلى حجرة التبخير، بعد ذلك تنقل أبخرة الطلائع إلى الرطكازة كما في حالة الترسيب الكيميائي للبخار التقليدية.
  • طرق البلازما
    • ترسيب كيميائي للبخار مدعم ببلازما الأمواج الصغرية (أمواج الميكرويف)
    • ترسيب كيميائي للبخار مدعم بالبلازما: والتي تستعمل البلازما لتحسين معدل سرعة التفاعل الكيميائي للطلائع.[2] تمكن هذه الكريقة من إجراء العملية عند درجات حرارة منخفضة نسبياً. والذي يكون أمراً بالغ الأهمية في صناعة أشباه الموصلات.
  • ترسيب كيميائي للبخار مدعم بالبلازما البعيدة: تختلف هذه الطريقة عن سابقتها أن الركازة لا تكون في منطقة تفريغ شحنة البلازما، مما يمكن من العمل عند درجات حرارة تصل إلى درجة حرارة الغرفة.
  • طرق أخرى
    • ترسيب كيميائي للبخار بالاشتعال
    • تنضيد الطبقة الذرية
    • ترسيب كيميائي-فيزيائي مهجن للبخار

طالع أيضاً

المراجع

  1. ^ Low Pressure Chemical Vapor Deposition - Technology and Equipment، مؤرشف من الأصل في 2018-09-06
  2. ^ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - Technology and Equipment، مؤرشف من الأصل في 2018-07-24

Read other articles:

Lussemburgo Uniformi di gara Casa Trasferta Sport Pallavolo Federazione FLVB Confederazione CEV Codice CIO LUX Selezionatore Pompiliu Dascălu Ranking FIVB 117° (12 agosto 2013) Campionato mondiale Partecipazioni 1 (esordio: 1956) Miglior risultato Ventitreesimo posto nel 1956 La nazionale di pallavolo maschile della Lussemburgo è una squadra europea composta dai migliori giocatori di pallavolo del Lussemburgo ed è posta sotto l'egida della Federazione pallavolistica del Lussemburgo. Indice 1…

Monumento conmemorativo de Camp Merritt LocalizaciónPaís Estados UnidosLocalidad Camp MerrittCoordenadas 40°56′29″N 73°58′36″O / 40.9413, -73.9768HistoriaInauguración 30 de mayo de 1924CaracterísticasMateriales GranitoAltura 20 m[editar datos en Wikidata] El Monumento Conmemorativo de Camp Merritt está dedicado a los soldados que pasaron por Camp Merritt, en el estado de Nueva Jersey (Estados Unidos), en su camino a luchar en Europa en la Primera Guerra M…

Hieronder staat een lijst van herdenkingsmunten van twee euro met slagjaar 2014. Afbeelding Land Ter gelegenheid van Oplage Datum uitgave Luxemburg 175ste verjaardag van de onafhankelijkheid van het Groothertogdom Luxemburg (Verdrag van Londen (1839)) (twaalfde uit de 'Luxemburgse dynastie'-serie) 519.500 6 januari 2014 Omschrijving: In het binnenste gedeelte van de munt is rechts het gelaat van Zijne Koninklijke Hoogheid Groothertog Henri, naar rechts kijkend, afgebeeld, terwijl links, in verti…

ТремеріTrémery   Країна  Франція Регіон Гранд-Ест  Департамент Мозель  Округ Мец Кантон Віжі Код INSEE 57677 Поштові індекси 57300 Координати 49°14′49″ пн. ш. 6°13′31″ сх. д.H G O Висота 160 - 238 м.н.р.м. Площа 7,53 км² Населення 1024 (01-2020[1]) Густота 143,82 ос./км² Розміщення Вла

?Phallocryptus fahimii Біологічна класифікація Домен: Еукаріоти (Eukaryota) Царство: Тварини (Animalia) Тип: Членистоногі (Arthropoda) Підтип: Ракоподібні (Crustacea) Клас: Зяброногі (Branchiopoda) Ряд: Anostraca Родина: Thamnocephalidae Рід: Phallocryptus Вид: P. fahimii Біноміальна назва Phallocryptus fahimiiSchwentner, Rudov, Rajaei, 2020 Типове місцезна

Tournoi pré-olympiquede l'OFC Généralités Sport Football Création 1987 2004 Organisateur(s) CIO, OFC Catégorie Continental Périodicité tous les 4 ans Lieu(x) Océanie Statut des participants Amateurs, Professionnels modifier Le tournoi pré-olympique de l'OFC a pour but de désigner les nations qualifiées au sein de la zone Océanie pour participer au tournoi final de football des Jeux olympiques. Le tournoi masculin est organisé tous les quatre ans depuis 1988, conjointement à d'autr…

Alfabeto tâmil Tipo Abugida Línguas tâmil, kanikkaran, badaga, irula etc. Período de tempo c. 400[1] — presente Status Escrita oficial de: Índia (Tamil Nadu[2] e Puducherry[3]) Sri Lanka Singapura Sistemas-pais Hieróglifos egípciosAlfabeto protossinaíticoAlfabeto fenícioAlfabeto aramaicoEscrita bramiTâmil bramiEscrita PallavaAlfabeto tâmil / தமிழ் Sistemas-irmãos Lista Escrita grantha Escrita mon antiga Alfabeto quemer Escrita cham Escrita kawi Direção Esquerda-pa…

مؤسسة البريد السعودي -سبل-البريد السعودي سُبلالشعارمعلومات عامةالتأسيس 1926 (منذ 97 سنة)النوع مؤسسة عامة حكومية سعوديةالمقر الرئيسي الرياض، المملكة العربية السعوديةموقع الويب splonline.com.sa المنظومة الاقتصاديةالشركات التابعة شركة ناقل 51% ليبارا 30%الخدمات خدمات بريدية وخدمات حكو

طب الجلد طب الجلد الجهاز الجلد فرع من علوم الصحة،  وعلوم سريرية  [لغات أخرى]‏  الأمراض المهمة سرطان الجلد، عدوى الجلد، أكزيما الفحوص المهمة خزعة جلد المختص طبيب أمراض جلدية تعديل مصدري - تعديل   طب الجلد أو علم الجلد وأمراضه[1] (بالإنجليزية: Dermatology)‏ هو تخصص

Human settlement in Brazil Location of São Gonçalo do Rio Preto in the state of Minas Gerais. São Gonçalo do Rio Preto is a Brazilian municipality in the state of Minas Gerais. Its population as of 2020 was 3,173 living in a total area of 313 km².[1] Location The city belongs to the statistical mesoregion of Jequitinhonha and to the statistical microregion of Diamantina. It became a municipality in 1986.[2] The municipal seat of São Gonçalo do Rio Preto is located at …

Artikel ini sebatang kara, artinya tidak ada artikel lain yang memiliki pranala balik ke halaman ini.Bantulah menambah pranala ke artikel ini dari artikel yang berhubungan atau coba peralatan pencari pranala.Tag ini diberikan pada Januari 2023. Tampilan rel beralur Rel beralur (Bahasa Inggris: Grooved rail ) adalah rel yang khusus ditanam pada tanah atau permukaan yang memiliki karakteristik keras seperti, aspal. Rel tipe ini biasanya dipasang pada trek kereta api atau trem dalam kota karena ban…

Truncated trapezohedron with a 3-sided base Truncated triangular trapezohedronTypeTruncated trapezohedronFaces6 pentagons,2 trianglesEdges18Vertices12Symmetry groupD3d, [2+,6], (2*3)Dual polyhedronGyroelongated triangular bipyramidPropertiesconvex In geometry, the truncated triangular trapezohedron is the first in an infinite series of truncated trapezohedra. It has 6 pentagon and 2 triangle faces. Geometry This polyhedron can be constructed by truncating two opposite vertices of a cube, of a tr…

Argentine football club Football clubDefensa y JusticiaFull nameClub Social y Deportivo Defensa y JusticiaNickname(s)El Halcón (The Hawk)Founded20 March 1935; 88 years ago (1935-03-20)GroundEstadio Norberto Tito Tomaghello Florencio Varela, Buenos AiresCapacity10,500[1]ChairmanJosé LemmeManagerJulio VaccariLeaguePrimera División20212ndWebsiteClub website Home colours Away colours Third colours Current season Club Social y Deportivo Defensa y Justicia, commonly known …

الهيئة العامة للاستثمار والمناطق الحرة الهيئة العامة للاستثمار والمناطق الحرة (مصر)الشعار البلد  مصر المقر الرئيسي القاهرة تاريخ التأسيس 1997 (منذ 26 سنة) النوع هيئة حكومية منطقة الخدمة مصر اللغات الرسمية العربية، الإنجليزية الرئيس مصطفى مدبولي الرئيس التنفيذي حسام هيبة ا

Location of the Stackpole and Castlemartin community within Pembrokeshire Stackpole and Castlemartin is a community in Pembrokeshire, Wales, 4 miles (6.4 km) south of Pembroke.[1] It was formed in 2011 by the amalgamation of the existing communities of Stackpole and Castlemartin, and includes a number of other smaller villages and ancient parishes in the area.[2] The population of the community upon formation was 632,[3] including Bosherston, Warren and St Twynnels.&…

Legal concept meaning powers are exceeded Wilmington, Delaware is the incorporation capital of the United States.[1] Delaware has largely abolished ultra vires in relation to corporations under the Delaware General Corporation Law.[2] Ultra vires ('beyond the powers') is a Latin phrase used in law to describe an act that requires legal authority but is done without it. Its opposite, an act done under proper authority, is intra vires ('within the powers'). Acts that are intra vire…

Public park in Brooklyn, New York This article needs additional citations for verification. Please help improve this article by adding citations to reliable sources. Unsourced material may be challenged and removed.Find sources: Mount Prospect Park – news · newspapers · books · scholar · JSTOR (May 2016) (Learn how and when to remove this template message) 40°40′18″N 73°58′00″W / 40.671552°N 73.966535°W / 40.671552; -73…

1945 British filmThe Echo MurdersDirected byJohn HarlowScreenplay byJohn HarlowBased onThe Terror of Tregarwithby Hector Hawton (as John Sylvester)[1]Produced byLouis H. JacksonStarringSee belowCinematographyJames WilsonEdited byLito CarruthersMusic byPercival MackeyProductioncompaniesBritish National FilmsStrand Film Company Ltd.Distributed byAnglo-American Film Corporation (UK)Release date 17 December 1945 (1945-12-17) (UK) Running time75 minutesCountryUnited Kingdom…

2016 film EarthquakeFilm posterDirected bySarik AndreasyanWritten by Grant Barsegyan Arsen Danielyan Aleksey Gravitskiy Sergey Yudakov Marty Bowen Produced by Gevond Andreasyan Sarik Andreasyan Ruben Dishdishyan Aram Movsesyan Marty Bowen Starring Konstantin Lavronenko Mariya Mironova CinematographyYuriy KorobeynikovDistributed byKaroprokatRelease date 25 July 2016 (2016-07-25) Running time101 minutesCountryArmeniaLanguagesArmenianRussianBox office$3.6 million[1][2]…

Brewpub located in Roseland, Virginia, U.S This article has multiple issues. Please help improve it or discuss these issues on the talk page. (Learn how and when to remove these template messages) This article needs additional citations for verification. Please help improve this article by adding citations to reliable sources. Unsourced material may be challenged and removed.Find sources: Devils Backbone Brewing Company – news · newspapers · books · scholar…

Kembali kehalaman sebelumnya