Hệ thống cấp bậc thành phố trực thuộc trung ương được ra đời vào năm 1927 sau khi chúng được phân cấp là "thành phố" trong thập niên 1920. Các thành phố này lúc đầu được gọi là các thành phố đặc biệt (tiếng Trung: 特別市; bính âm: tébíeshì, Hán-Việt: đặc biệt thị), sau đó đổi thành thành phố trực thuộc Viện (tiếng Trung: 院轄市; bính âm: Yùanxíashì, Hán-Việt: Viện trực thị).
Giai đoạn không còn kiểm soát đại lục
Sáu thành phố trực thuộc trung ương ở Đài Loan được thành lập sau khi Trung Hoa Dân Quốc lấy lại quyền kiểm soát đảo này sau Chiến tranh thế giới thứ hai. Đài Bắc trở thành thành phố trực thuộc Viện vào năm 1967; Cao Hùng là năm 1979; Đài Trung và Đài Nam và Tân Bắc là năm 2010, Đào Viên năm 2014. Từ năm 1994, thành phố trực thuộc Viện (Viện trực thị) chính thực được gọi là thành phố trực thuộc trung ương (trực hạt thị) nhằm nhấn mạnh tính tự chủ của các thành phố này. Ngoài sự phát triển kinh tế, chính trị và văn hoá thì luật pháp Trung Hoa Dân Quốc còn quy định loại thành phố này phải có dân số trên 1.250.000 người.
Quản lý hành chính
Tại các thành phố trực thuộc trung ương của Đài Loan, thị trưởng là quan chức cấp cao nhất. Nhiệm kì của thị trưởng là bốn năm và dân chúng đăng ký cư trú tại thành phố đó sẽ bầu ra họ.