Yüzey iyonizasyonu veya temas iyonizasyonu olarak da bilinen termal iyonizasyon, atomların sıcak bir yüzeyden desorbe edildiği ve bu süreçte iyonize edildiği fiziksel bir işlemdir.
Termal iyonizasyon, kütle spektrometrisi ve iyon demetleri oluşturmak için basit iyon kaynakları yapmak amacı ile kullanılır.[1] Termal iyonizasyon, birçok jeolojik/nükleer uygulamada kullanılmasının yanı sıra atom ağırlıklarının belirlenmesinde yaygın olarak kullanıldı.[2]