Karbon tetraflorür veya R-14 olarak da bilinen tetraflorometan, en basit perflorokarbondur (CF4). IUPAC adından da anlaşılacağı gibi, tetraflorometan, hidrokarbon metanın perflorlanmış karşılığıdır. Tetraflorometan kullanışlı bir soğutucudur, lâkin aynı zamanda da güçlü bir sera gazıdır.[3]
Tetraflorometan, karbonun kendisi de dâhil olmak üzere herhangi bir karbon bileşiğinin bir flor atmosferinde yakılmasıyla elde edilen üründür. Hidrokarbonlarla, hidrojen florürün bir yan üründür. İlk kez 1926'da üretildiği bildirildi.[4]
Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu (R-14) olarak kullanılır. Elektronik mikro fabrikasyonda tek başına veya silisyum, silisyum dioksit ve silisyum nitrür için bir plazma dağlayıcı olarak oksijenle kombinasyon hâlinde kullanılır.[5]
Kaynakça
^Abjean, R.; A. Bideau-Mehu; Y. Guern (15 Temmuz 1990). "Refractive index of carbon tetrafluoride (CF4) in the 300-140 nm wavelength range". Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 292 (3): 593-594. Bibcode:1990NIMPA.292..593A. doi:10.1016/0168-9002(90)90178-9.
^Kestin, J.; Ro, S.T.; Wakeham, W.A. (1971). "Reference values of the viscosity of twelve gases at 25°C". Transactions of the Faraday Society. 67: 2308-2313. doi:10.1039/TF9716702308.
^K. Williams, K. Gupta, M. Wasilik. Etch Rates for Micromachining Processing – Part II J. Microelectromech. Syst., vol. 12, pp. 761–777, December 2003.