Fotolitografi

365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası

Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.^[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.

Kaynakça

1. "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017. 

Dış bağlantılar

• BYU Photolithography Resources
• Semiconductor Lithography15 Ocak 2017 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Overview of lithography
• Optical Lithography Introduction27 Kasım 2005 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — IBM site with lithography-related articles
• Immersion Lithography Article21 Mart 2006 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography