СВЧ разряды классифицируют по способу возбуждения:
СВЧ разряд в волноводе
СВЧ разряд в резонаторе. Благодаря резонансу, данный способ позволяет относительно легко получать в лабораторных условиях СВЧ разряды с напряжённостью поля вплоть до 106 В/см.
Паразитный СВЧ разряд может возникать вокруг деталей мощных СВЧ приборов, в том числе в вакууме, развиваясь за счёт вторичной электронной эмиссии, и тем самым ограничивая мощность данных приборов.